納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積。
劃痕法通過(guò)使用不同的傳感器（聲發(fā)射、劃痕位移、摩擦力）和視頻顯微鏡觀察獲得臨界載荷數(shù)據(jù)來(lái)量化不同的膜-基材組合的結(jié)合性能。主要研究材料的磨損或去除機(jī)制，廣泛應(yīng)用于薄膜或涂層結(jié)合強(qiáng)度的測(cè)試。影響納米劃痕過(guò)程的主要因素包括壓頭類型、劃痕速度、劃痕深度和材料特性等。
使用納米壓痕儀要滿足哪些要求：
1.樣品要求：上下表面平行拋光，直徑不超過(guò)30mm，高度不超過(guò)20mm，如果高度超過(guò)10mm，直徑需保證是30mm左右，如果直徑小于10mm，那么高度建議5mm以下，利于樣品測(cè)試過(guò)程中的穩(wěn)固；如果是鑲的樣品，加工成直徑31.5mm，要不然容易打偏；
2.特別注意：試樣厚度至少大于壓入深度h的10倍以上，壓入深度h至少是粗糙度Ra的20倍；壓入深度小于100nm數(shù)據(jù)可靠度不高；壓入深度一般2-3微米，深度再大沒(méi)有太大意義；對(duì)于表面比較粗糙的樣品，測(cè)試結(jié)果比較離散，建議測(cè)試點(diǎn)數(shù)不低于10個(gè)；樣品表面平整，不得有油污、顆粒物等污染物；提供樣品的泊松比。
