近年來，測量納米硬度一般采用新興的納米壓痕技術(shù)(nano-indentation)，由于采用納米壓痕技術(shù)可以在極小的尺寸范圍內(nèi)測試材料的力學(xué)性能，除了塑性性質(zhì)外，還可反映材料的彈性性質(zhì)，因此得到了越來越廣泛的應(yīng)用。
納米壓痕技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù)（Depth-SensingIndentation，DSI)，是測試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學(xué)性質(zhì)，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等。
納米壓痕儀的基本組成可以分為控制系統(tǒng)、移動線圈系統(tǒng)、加載系統(tǒng)及壓頭等幾個部分。壓頭一般使用金剛石壓頭，分為三角錐或四棱錐等類型。試驗(yàn)時，首先輸入初始參數(shù)，之后的檢測過程則*由微機(jī)自動控制，通過改變移動線圈系統(tǒng)中的電流，可以操縱加載系統(tǒng)和壓頭的動作，壓頭壓入載荷的測量和控制通過應(yīng)變儀來完成，同時應(yīng)變儀還將信號反饋到移動線圈系統(tǒng)以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，從而按照輸入?yún)?shù)的設(shè)置完成試驗(yàn)。
儀器化納米壓痕測試方法中應(yīng)力應(yīng)變分析的另一個經(jīng)典應(yīng)用是研究金屬焊縫周圍的彈塑性，尤其是軟金屬，例如鋁合金。鋁合金比鋼對高溫更敏感，因此，研究鋁合金的焊接熱效應(yīng)尤為更重要。在本應(yīng)用所提及的研究中，在加載過程中使用正弦波動態(tài)加載模式，利用球形納米壓痕針尖的特性對兩種不同的鋁合金焊縫附近的彈塑性行為進(jìn)行局部表征。球形納米壓痕針尖用于確定靠近焊縫（區(qū)域A）且距離焊縫約2mm（區(qū)域B）的應(yīng)力應(yīng)變特性。
