納米壓痕儀主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積。
納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性。可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等
納米壓痕技術(shù)是測(cè)量納米機(jī)械屬性的一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)。雖然準(zhǔn)靜態(tài)納米壓痕支持利用負(fù)載位移曲線表征應(yīng)力和應(yīng)變關(guān)系，但是它需要大量的測(cè)試才能深入了解材料的行為。動(dòng)態(tài)測(cè)試可以揭示材料剛度與深度的關(guān)系，允許復(fù)雜的分析。如果使用準(zhǔn)靜態(tài)試驗(yàn)，這些分析需要成千上萬(wàn)次的試驗(yàn)。
納米壓痕儀利用電磁驅(qū)動(dòng)頭和解耦的電容位移計(jì)來(lái)分別測(cè)量力和位移。這提供廣泛的力和位移動(dòng)態(tài)范圍，可進(jìn)行從納米到毫米的變形分析。本設(shè)計(jì)具有杰出的控制能力，而這種控制能力對(duì)于完成薄膜、納米材料、MEMS和其它器件結(jié)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)是至關(guān)重要的。
